KIMBALL PHYSICS EGH-6210 激光设备技术参数

可聚焦高能电子束，光斑尺寸小至50μm

1keV至60keV

应用：

普通真空物理学
辐射研究
地面轰炸
半导体研究
生物样本辐射
X射线生成
等离子体激发
荧光研究
表面物理研究
功能/选项：

小斑点尺寸低至50μm
中等电流束至5mA
高电流束至10mA
静磁聚焦
静磁束整形（可选）
静磁偏转
脉冲能力
操作过程中的内部对齐
差动泵
能量范围：1keV至60keV
束流：10µA至5mA
光斑尺寸：50µm至10 mm
安装：2.75英寸（2¾）CF

Kimball Physics EGH-6210电子枪及其配套的EGPS-6210电源是一个完整的子系统，可以连接到用户的真空系统并打开。它可以在非常广泛的能量、电流和功率范围内输送电子。EGH-6210可用于空间材料测试、辐射研究、半导体研究、x射线产生和等离子体激发。

该枪使用单晶六硼化镧（LaB6）阴极产生高能、可聚焦、小点电子束。束能量和束电流都可以在宽范围内独立调节；能量从1keV到60keV，电流从10μA到5mA。电子束可以通过控制栅极的输入信号进行脉冲。
枪的可调光学元件可以适应不同的发散和一系列的工作距离，适用于各种应用。磁聚焦透镜的光斑尺寸可以从10毫米到50微米不等。磁性定心和可选的整形线圈提供了额外的束控制，允许用户偏转和整形电子束。整形通常会产生椭圆光束，其两个轴都可以独立压缩或延伸。静磁聚焦透镜和偏转整形四极杆都能产生低像差的结果。此外，阴极到阳极的间距可以在内部调节，以改变导电性。

该 调节的阴极馈通组件，允许点火单元相对于阳极和柱进行机械对准。这种对准可以在枪打开光束的情况下实时完成。