SIOS校准干涉仪SP 15000 C5技术参数

更新时间：2022-03-07 点击次数：989次

在调整和对齐机器轴时对导轨特性进行高精度动态检测以及符合标准的轴校准非常费力和耗时。校准激光干涉仪 SP 15000 C5 的开发旨在满足机器和设备制造商的需求。这可以实现同步、连续的 5 DOF 测量。使用激光干涉仪高精度记录所有参数长度、俯仰角、偏航角和直线度，从而在所有三个长度测量通道中使用相同的高度稳定的激光频率。紧凑型直线度选项将直线度镜直接连接到传感器头上。这意味着只需设置两个组件并相互对齐。测量系统现在可以快速可靠地安装在狭小的空间内，尤其是在机床中。传感器头的光纤耦合和集成的光束方向检测支持轻松操作和调整。对于较大的测量范围或校准任务，建议使用无线温度传感器或 LCS 气候站。

光束偏转与可选的可调节偏转镜